已解决
高频电容
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有谁知道在硅集成电路中的的高频电容分为几种啊 是用什么材料和工艺，特性来实现的 谢谢
但是要是工作在高频的话，是不是应该使半导体中的载流子寿命要很小吧，这样复合和产生率增大，会不会频率就会上去
提问者：click1982; - 大魔法师：九级 2008-7-29 19:13:00│举报|收藏
其他答案：
目前制造的工艺情况下，在集成电路中很难将大容量电容集成进去，只能集成电容量较小的电容。目前使用较多就是MOS等效电容。材料是高纯度硅、磷、铝、二氧化硅等，使用的工艺有：扩散、外延生长。
在半导体中掺金就可以减少在流体寿命，提高复合的几率，金能够提供多个复合中心，使制造高速器件常用的工艺！
回答者：click1992 - 大魔法师：九级 2008-8-16 14:57:31│举报|评论

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